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  • 所屬分類:愛德華真空泵維修

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  • 發布日期:2020/02/28
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詳細介紹

英國愛德華EDWARDS EPX系列干泵EPX180l維修

產品介紹

EPX系列干泵

概述

新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX500 使用了獨特的專利保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供卓越的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。 

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應用

EPX 系列涵蓋廣泛的應用,從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

功能和優勢

緊湊的占地面積 – 作為可用的Z小工具上泵之一,EPX 顯著節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。

低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可Z大化功率效率。

獨特的專利保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在所有進氣口壓力下連續工作。

超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。

非??煽?nbsp;– EPX 基于經過現場驗證的 IPX 技術,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 年維修一次,Z大程度地延長了泵的使用壽命。

可兼容的網絡 - EPX 系列配有Z終用戶控制,可以連接到各種結構的網絡,以進行診斷監視和控制。 

技術數據 


EPX180

EPX500

峰值速度

170 m3h-1

500 m3h-1


105 ft3min-1

295 ft3min-1


2835 l min-1

8338 l min-1

極限真空




<1 x 10-4 mbar

<1 x 10-6 mbar


<7.5 x 10-5 Torr

<7.5 x 10-7 Torr


<1 x 10-2 Pa

<1 x 10-4 Pa

預熱時間(達到標稱性能)

30 分鐘

30 分鐘

入口法蘭

ISO63

ISO160

出口法蘭

NW25

NW25

噪音 

<59 dB(A)

<59 dB(A)

Z小冷卻水流速

2 l m-1

2 lmin-1

冷卻水溫度

15 – 35 °C

15 – 35°C

電源供給

200/208 V,50/60 Hz 三相

200/208 V,50/60 Hz 三相

極限功率

1.4 kW

1.4 kW

電機額定功率

3.0 kW

3.0 kW

TIM

C3

SPI

重量

43.5 kg

45.2 kg


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