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  • 發布日期:2020/02/28
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昆山熙日機械設備有限公司是由一批長期服務于某知名外企的骨干精英組建而成,注冊資金100萬,自公司成立起一直致力于真空設備及配件的研究、生產、推廣、銷售、安裝及維修領域。

本公司經過多年不懈的努力,已擁有一支專業的IT研發人員和全面的銷售網絡,所經營的產品暢銷國內外,現已與國內外多家大型企業保持著長期的合作關系,本公司產品以質量優良、操作簡單、性價比高及周到的售后服務等廣受市場好評,使得公司的效益得到迅速發展,為公司的長遠發展打下牢固的基礎。

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英國愛德華半導體EPX180L 干式真空泵

 

概述

新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX180 使用了獨特的保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供卓越的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。英國愛德華EPX180L干式真空泵維修保養

技術

EPX 泵系統在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作,增壓室內無潤滑或密封液。這樣可以確保泵送系統清潔,不會因為系統的排空而使油或液體回流到系統中。

泵的定子和封閉馬達通過集成化水冷回路進行冷卻。因此,EPX 泵適合在不允許使用風扇的潔凈室環境下使用。冷卻水供應和回水管通過水接頭(由客戶指定)連接到泵。冷卻水的提供必須與環境條件(濕度和溫度)相當,以便不會達到結露點。

泵裝有一個 EMC 供應過濾器和一個變換器驅動,該驅動可提供和控制泵馬達的電源。前蓋上的 LED 標識 EPX 泵的狀態。馬達速度取決于泵入口處的壓力。當泵在入口壓力處于或接近大氣壓的情況下啟動時,馬達會加速到某個速度,該速度受可以由變換器驅動提供的電流限制。隨著入口處的壓力降低,馬達速度會加快,直至該速度Z終達到其預定的Z大速度。如果入口處的壓力增大,則馬達速度會再次減慢。

EPX L 系列的泵不能進行手動操作;這些泵必須通過外部控制設備進行控制和監視,而控制設備必須通過工具接口模塊 (TIM) 連接到 EPX 泵。

EPX 泵由四個振動隔離器進行支持。

泵保護傳感器可在出現故障狀態時自動關閉泵。英國愛德華EPX180L干式真空泵維修保養

應用

  • EPX 系列涵蓋廣泛的應用,從水處理到中度工作負載的制程。

    EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

功能和優勢

  • 緊湊的占地面積 – 作為可用的Z小工具上泵之一,EPX 顯著節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。

  • 低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可Z大化功率效率。

  • 獨特的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在所有進氣口壓力下連續工作。

  • 超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。

  • 非??煽?– EPX 基于經過現場驗證的 IPX 技術,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,延長了泵的使用壽命。

  • 可兼容的網絡 - EPX 系列配有Z終用戶控制,可以連接到各種結構的網絡,以進行診斷監視和控制。


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